Lò nung chân không TOB-DSP-1200℃-PECVDS (1200℃, 0.1-10 5Pa)

Technical Specifications

• Công suất: 3.5  KW
• Kích thước ống lò (mm): Dia 60(OD) X1200mm
• Kích thước: 1300X420X1200
• Nguồn: 220V
• Số pha: Một pha
• Chế độ điều khiển nhiệt độ
• 1.Điều khiển nhiệt độ Yudian: chỉ sử dụng nguyên lý điều khiển nhiệt độ PID cho 30 phần.
• 2.Điều khiển nhiệt độ FP93 (Công nghệ Nhật Bản)
• Bộ khởi động: Bộ khởi động chuyển pha
• SCR: 106 / 16E Germany Simon Kang
• Nhiệt độ tối đa: 1200 °C
• Nhiệt độ định mức: 1100 ℃
• Độ gia nhiệt: ≤30 ℃/ phút (có sẵn theo yêu cầu thay đổi)
• Độ chính xác điều chỉnh: +/- 1 ℃
• Độ gia nhiệt đề xuất: ≤15℃/ phút
• Chiều dài thiết bị gia nhiệt: 400mm
• Kiểu cặp nhiệt điện: Kiểu K
• Chứng chỉ: CE
• Nhiệt độ bề mặt xung quanh: ≤45 ℃
• Công suất động cơ quay: 40W
• Công suất điện: 40W
• Góc nghiêng lò: -10 ~30 độ
• Độ quay ống: Tốc độ độ cơ có thể tùy chỉnh thay đổi liên tục 1-25 rev / phút
• Công suất Plasma RF
• Dải công suất đầu ra: 0-500W
• Cong suất phản xạ tối đa: 10W
• Tần số tín hiệu: 13.56MHZ ± 0.005%
• Độ ồn:<30 dB
• Làm mát bằng khí: Phương pháp làm mát
• Công suất đầu vào: 208-240V 50 / 60HZ
• Thông số kỹ thuật kệ thống cung cấp GX
• Dải đo chuẩn: Độ điều chỉnh dòng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM,
• 1,2,3,5,10SLM
• (tùy chọn thang đo)
• Độ chính xác: ± 1.5%
• Áp suất giảm: <0.01MPa
• Độ lặp lại: ± 0.2% F.S
• Áp suất vận hành tối đa: 3MP
• Hệ thống xả VS-0.1
• Nguồn: 220V / 380V 380W
• Lưu lượng bơm: 2L / S
• Đồng hồ đo điện trở chân không: ZDR-I
• Dải đo chân không: 0.1-10 5 Pa
• Bơm chân không: VRD-8
• Ống cong: KF25X1000mm
• Hệ thống chân không: 10 -1Pa

Package Includes