Máy làm sạch bằng Plasma Yamato PDC510 (215054, 500W)

Technical Specifications

• Chế độ Plasma: chọn RIE/DP
• Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song
• Máy đo chân không: máy đo điện dung
• Đầu ra tần số cao: Max 300W
• Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
• Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
• Phương pháp: Tự động điều chỉnh
• Kích thước buồng: W500×D300×H200mm
• Kích thước làm việc: W400×D200mm
• Vật liệu buồng: Nhôm
• Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
• Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
• Kiểm soát lưu lượng khí phản ứng: Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng
• Bơm chân không quay: 500L/phút. (bao gồm)
• Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W700×D700×H1,285mm
• Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp

Package Includes