Máy làm sạch bằng Plasma Yamato PDC200 (328210, 300W)

Technical Specifications

• Chế độ Plasma: RIE (chế độ DP option)
• Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song
• Máy đo chân không: máy đo điện dung
• Đầu ra tần số cao: Max 300W
• Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
• Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
• Phương pháp: Tự động điều chỉnh
• Kích thước buồng: W400×D250×H150mm
• Kích thước làm việc: W250×D170mm
• Vật liệu buồng: Nhôm
• Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
• Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
• Kiểm soát lưu lượng khí phản ứng: Đồng hồ đo lưu lượng
• Bơm chân không quay: 345L/phút. (Option)
• Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W540×D600×H600mm
• Nguồn điện: AC115V/AC220V 1 pha với máy hạ áp

Package Includes